南轩(天津)科技有限公司轩云喜获国家专利权
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龙图腾网获悉南轩(天津)科技有限公司申请的专利一种晶圆加工酸洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223712720U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520243900.2，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种晶圆加工酸洗装置是由轩云喜;张永明设计研发完成，并于2025-02-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆加工酸洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及酸洗设备技术领域，具体的说是一种晶圆加工酸洗装置，包括酸洗筒，所述酸洗筒的底端中心贯通穿过有电机仓的电机动力输出端；通过方便拆卸的酸洗固定架结构来方便在使用完成后对设备进行清理，减少了维护所需要的成本，并且相对的提高了清理设备的效率，能够快速有效的将装置酸洗处进行清理以及通过将酸洗放置架与酸洗设备拆分来方便在使用的过程中能够将酸洗结束的酸洗固定架取出更换装有下一批待酸洗晶圆酸洗固定架来提高酸洗加工的效率。
本实用新型一种晶圆加工酸洗装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆加工酸洗装置，其特征在于，包括酸洗筒1，所述酸洗筒1的底端中心贯通穿过有电机仓10的电机动力输出端，所述电机仓10内电机的动力输出端贯通连接有传动连接件8，所述传动连接件8的顶端可拆卸安装有固定转盘9，所述固定转盘9的顶端居中处固定连接有传动安装杆2； 所述传动安装杆2的顶端固定开设有用于方便拆装的可拆卸连接件3，所述可拆卸连接件3的内部螺合连接有酸洗固定架4，且所述酸洗固定架4套设于传动安装杆2的外周，所述酸洗固定架4的顶端设置有转动安装旋钮5，所述酸洗固定架4的外周设置有用于方便限制晶圆的放置板6。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人南轩(天津)科技有限公司，其通讯地址为：300200 天津市宝坻区塑料制品工业区广仓道9号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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