江苏昕感科技有限责任公司钱勇杰获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏昕感科技有限责任公司申请的专利一种刻蚀机装载室的真空管路结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223712716U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423212870.3，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种刻蚀机装载室的真空管路结构是由钱勇杰;李亚设计研发完成，并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种刻蚀机装载室的真空管路结构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及刻蚀机技术领域，尤其是一种刻蚀机装载室的真空管路结构，包括安装有截止阀的真空管道；所述真空管道的一端连通腔室、另一端连接有泵件；其中在所述真空管道的中部还安装有初抽管道；所述初抽管道包括两个连接管以及与两个连接管可拆卸连接的初抽主管，两个所述连接管位于所述截止阀的两侧，且与所述真空管道连通并固定，本实用新型中通过在真空管道上增加一个初抽管道的设计，在真空阶段前，首先对通过初抽管道先进行抽吸预定时间，当压降后再通过打开截止阀，通过真空管道进行抽取真空，从而改善装载室腔体的颗粒度，其次初抽主管与连接管之间采用快拆组件进行连接，可实现对初抽主管的便捷拆装，以及对阀门的便捷检修维护。
本实用新型一种刻蚀机装载室的真空管路结构在权利要求书中公布了：1.一种刻蚀机装载室的真空管路结构，其特征在于，包括安装有截止阀2的真空管道1； 所述真空管道1的一端连通腔室、另一端连接有泵件3； 其中在所述真空管道1的中部还安装有初抽管道4； 所述初抽管道4包括两个连接管41以及与两个连接管41可拆卸连接的初抽主管42，两个所述连接管41位于所述截止阀2的两侧，且与所述真空管道1连通并固定，在所述初抽主管42的中部安装有阀门43。
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