江苏昕感科技有限责任公司王聪获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏昕感科技有限责任公司申请的专利一种带检测功能的刻蚀机装载端口获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223712715U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423212834.7，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种带检测功能的刻蚀机装载端口是由王聪;李亚设计研发完成，并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种带检测功能的刻蚀机装载端口在说明书摘要公布了：本实用新型涉及刻蚀机技术领域，尤其是一种带检测功能的刻蚀机装载端口，包括安装于机体侧边上的装载端口；所述装载端口包括固定在机体侧边的驱动模组以及受驱动模组驱动移动的装载座，位于所述装载座的上方设置有夹持模组；其中所述装载座上安装有第一检测件，所述夹持模组上设置有第二检测件，本实用新型中通过采用第一检测件、第二检测件以及第三检测件的结构设计，用于对装载座上有无晶圆盒、晶圆盒是否被夹持以及装载座是否在原点位置等动作状态进行检测，如此在将输出信号与SMIF进行连接后，确保当前装载座处于可放置晶圆盒时，SMIF才进行装载，反之则仅能实现卸载晶圆盒动作。
本实用新型一种带检测功能的刻蚀机装载端口在权利要求书中公布了：1.一种带检测功能的刻蚀机装载端口，其特征在于，包括安装于机体1侧边上的装载端口2； 所述装载端口2包括固定在机体1侧边的驱动模组21以及受驱动模组21驱动移动的装载座22，位于所述装载座22的上方设置有夹持模组23； 其中所述装载座22上安装有第一检测件24，所述夹持模组23上设置有第二检测件25。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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