星钥半导体(武汉)有限公司张学友获国家专利权
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龙图腾网获悉星钥半导体(武汉)有限公司申请的专利气缸下压装置及晶圆键合卡盘组件获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223712714U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423193069.9，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型气缸下压装置及晶圆键合卡盘组件是由张学友;王思维设计研发完成，并于2024-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本气缸下压装置及晶圆键合卡盘组件在说明书摘要公布了：本申请涉及一种气缸下压装置及晶圆键合卡盘组件。所述气缸下压装置包括气缸，活塞组件、弹性缓冲件、位移传感器及压力检测装置，活塞组件，可升降地设于气缸内，并具有能够延伸出气缸外的活塞杆；弹性缓冲件套设于活塞杆上，用于在活塞杆下压时对活塞杆提供向上的缓冲作用力；位移传感器用于监测活塞杆的升降高度；压力检测装置用于实时检测气缸内的压力值，以使得气缸内的压力值能够被控制到活塞杆下降至预设高度所对应的预设压力。上述气缸下压装置中弹性缓冲件的缓冲、配合压力检测装置的实时检测以及位移传感器的检测，使得活塞杆能够更加均匀稳定地下压，很好地规避晶圆滑片的风险，且能够更精确地控制活塞杆的下压高度，提高晶圆键合精度。
本实用新型气缸下压装置及晶圆键合卡盘组件在权利要求书中公布了：1.一种气缸下压装置，其特征在于，包括： 气缸； 活塞组件，可升降地设于所述气缸内，并具有能够延伸出所述气缸外的活塞杆； 弹性缓冲件，套设于活塞杆上，用于在所述活塞杆下压时对所述活塞杆提供向上的缓冲作用力； 位移传感器，用于监测所述活塞杆的升降高度； 压力检测装置，用于实时检测所述气缸内的压力值，以使得所述气缸内的压力值能够被控制到所述活塞杆下降至预设高度所对应的预设压力。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人星钥半导体(武汉)有限公司，其通讯地址为：430206 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来科技城龙山南街6号展想新思中心1号楼8楼808单元；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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