江苏孚尔姆激光科技有限公司张建忠获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏孚尔姆激光科技有限公司申请的专利一种光伏湿法链式清洗设备的主槽循环系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223712712U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423055255.6，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种光伏湿法链式清洗设备的主槽循环系统是由张建忠;邱瑞;董文昊;袁柳昱;张一文设计研发完成，并于2024-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光伏湿法链式清洗设备的主槽循环系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种光伏湿法链式清洗设备的主槽循环系统，属于光伏自动化技术领域，该一种光伏湿法链式清洗设备的主槽循环系统，包括槽体，所述槽体的内部中间水平竖向设置有多组支撑件，所述槽体的内部两端均设置有挡水固定板，所述支撑件的上方横向倾斜设置有多组平行的循环管。本技术方案的循环管为倾斜设置，硅片槽体内横向经过时，循环管的不同药液口能够覆盖到硅片的不同位置，从而使得硅片的不同位置处所接触的药液是均匀的，使循环管打出的药液能与硅片表面充分反应；双层结构的循环管可以在外层的管道内将药液再次混合，使得药液混合更充分，并能将药液平稳的打入槽体内，保持液面平稳，使得硅片的反应更充分稳定。
本实用新型一种光伏湿法链式清洗设备的主槽循环系统在权利要求书中公布了：1.一种光伏湿法链式清洗设备的主槽循环系统，其特征在于：包括槽体，所述槽体的内部中间水平竖向设置有多组支撑件，所述槽体的内部两端均设置有挡水固定板，所述支撑件的上方横向倾斜设置有多组平行的循环管，所述循环管为双层结构，且所述循环管的两端均连接有通入至挡水固定板内侧的软管。
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