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深圳市轴心自控技术有限公司张翔获国家专利权

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龙图腾网获悉深圳市轴心自控技术有限公司申请的专利一种半导体料盒内物料状态检测装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223712709U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422662504.1,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型一种半导体料盒内物料状态检测装置是由张翔;高友浪;周泰锋;林永志设计研发完成,并于2024-11-01向国家知识产权局提交的专利申请。

一种半导体料盒内物料状态检测装置在说明书摘要公布了:本实用新型第一方面公开了一种半导体料盒内物料状态检测装置,包括上料台及设置于上料台上的料盒,料盒内排列有多个晶圆,料盒一侧可拆卸设置有盖板,开盖模块设置于上料台一侧,两个激光传感器设置于开盖模块上;第二方面公开了一种半导体料盒内物料状态检测装置,包括一侧开口的料盒,运动模块用于带动料盒直线运动;旋转机构设置于料盒开口一侧,激光传感器设置于旋转机构上;本实用新型采用两个固定水平安装于开盖模块上的点激光传感器,在开盖过程中完成对静止的料盒和物料进行检测,或采用旋转机构带动一个点激光传感器对移动料盒内的物料进行检测,结构简单同时简化了检测动作,降低了生产调试和维护的成本,且能兼容不同种类的物料。

本实用新型一种半导体料盒内物料状态检测装置在权利要求书中公布了:1.一种半导体料盒内物料状态检测装置,包括上料台及设置于所述上料台上的料盒,所述料盒内排列设置有多个晶圆,其特征在于,所述料盒一侧可拆卸设置有盖板,还包括: 开盖模块,设置于所述上料台一侧,用于带动所述盖板沿多个晶圆排列的方向运动; 两个激光传感器,沿所述晶圆的平面方向排列设置于所述开盖模块上。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳市轴心自控技术有限公司,其通讯地址为:518000 广东省深圳市龙华区观澜街道大富社区桂月路334号硅谷动力汽车电子创业园A15栋101、201及A14栋整栋;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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