东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司朱芃睿获国家专利权
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龙图腾网获悉东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请的专利扫描电子显微镜获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223712704U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423296976.6，技术领域涉及：H01J37/28；该实用新型扫描电子显微镜是由朱芃睿;孟庆浪;王鑫设计研发完成，并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本扫描电子显微镜在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种扫描电子显微镜，其包括：探测器，用于与被测对象相对间隔设置，探测器的中心开设有供探测束流通过的探测器通孔；物镜，设置于探测器与被测对象之间；遮挡件，设置于探测器朝向物镜的一侧，遮挡件与探测器通孔相对的位置设置有供探测束流通过的遮挡件通孔，并且围绕遮挡件通孔设置有由镂空部以及实体部形成的过滤区域，以使得被测对象被探测束流作用而产生的信号束流被过滤区域部分遮挡后到达探测器。在本实用新型的方案中，被测对象被探测束流作用而产生的信号束流被过滤区域部分遮挡后到达探测器，使得探测器可以在整个探测范围内的收集效率较为均匀，不会因探测器通孔的存在而出现较大的灰度差异，有利于检测到缺陷。
本实用新型扫描电子显微镜在权利要求书中公布了：1.一种扫描电子显微镜，其特征在于，包括： 探测器，用于与被测对象相对间隔设置，所述探测器的中心开设有供探测束流通过的探测器通孔； 物镜，设置于所述探测器与所述被测对象之间； 遮挡件，设置于所述探测器朝向所述物镜的一侧，所述遮挡件与所述探测器通孔相对的位置设置有供所述探测束流通过的遮挡件通孔，并且围绕所述遮挡件通孔设置有由镂空部以及实体部形成的过滤区域，以使得所述被测对象被所述探测束流作用而产生的信号束流被所述过滤区域部分遮挡后到达所述探测器。
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