顶旭(苏州)微控技术有限公司周智君获国家专利权
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龙图腾网获悉顶旭(苏州)微控技术有限公司申请的专利一种用于紫外光刻机的光刻板晶圆找平结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223712007U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520335929.3，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种用于紫外光刻机的光刻板晶圆找平结构是由周智君;吴焕;朱彦艳;孙迈设计研发完成，并于2025-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于紫外光刻机的光刻板晶圆找平结构在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种用于紫外光刻机的光刻板晶圆找平结构，涉及光刻机技术领域，包括工作台的顶端安装有光刻机本体；平衡组件；平衡组件包括固定连接在工作台内部底端四角的立柱，每两个立柱的顶端设置有连杆，连杆的内部开设有滑槽，两个连杆的相近一端转动连接有六个四边形框架，四边形框架的四角均转动连接有转轴；这样设计的话通过四边形框架和支撑柱的联动，能够自动适应光刻板晶圆表面的凹凸不平，确保光刻板晶圆在光刻过程中保持平整，并且独立的拉簧通过弹性力能够均匀分布光刻板晶圆的重量，这样的话即可有效地避免了光线在不同区域的曝光强度和均匀性受到影响，从而解决了光刻胶曝光不一致的问题。
本实用新型一种用于紫外光刻机的光刻板晶圆找平结构在权利要求书中公布了：1.一种用于紫外光刻机的光刻板晶圆找平结构，其特征在于，包括； 工作台1的顶端安装有光刻机本体2； 平衡组件3；所述平衡组件3包括固定连接在工作台1内部底端四角的立柱31，每两个所述立柱31的顶端设置有连杆32，所述连杆32的内部开设有滑槽33，两个所述连杆32的相近一端转动连接有六个四边形框架34，所述四边形框架34的四角均转动连接有转轴35； 微调组件4；所述微调组件4包括转动连接在中部四个四边形框架34上的横杆41，所述横杆41的内部固定连接有多个支撑柱42。
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