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龙图腾网获悉嘉兴微拓电子科技股份有限公司申请的专利一种具有音圈驱动结构的光刻机掩膜版微动平台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223712006U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520189712.6，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种具有音圈驱动结构的光刻机掩膜版微动平台是由徐鑫设计研发完成，并于2025-02-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种具有音圈驱动结构的光刻机掩膜版微动平台在说明书摘要公布了：本实用新型提出一种具有音圈驱动结构的光刻机掩膜版微动平台，其包括固定支撑基板、转接支托座块、限位保持撑板、滚动支垫球珠、枢转限位螺栓、活动配接垫块、活动装配载板及音圈驱动组件，该微动平台的驱动结构采用音圈电机制作，不仅使得微动平台的响应速度和运动精度都有了较大的提升，还提升了平台运动的平滑性，音圈电机是直驱电机，减少了中间传动环节，降低了能量损耗，提高了系统的效率和响应速度，位移传感器实时反馈微动平台位置给控制器控制粗动平台运动，使得粗微动平台运动高度一致，提升了整个运动平台的精度，极大的提高了掩模版的制造精度和效率。

本实用新型一种具有音圈驱动结构的光刻机掩膜版微动平台在权利要求书中公布了：1.一种具有音圈驱动结构的光刻机掩膜版微动平台，其特征在于，包括： 固定支撑基板，该固定支撑基板通过连接件安装于光刻机的粗动平台中，其内部具有装配空间； 转接支托座块，该转接支托座块设有若干件，各转接支托座块分别通过连接件安装于固定支撑基板顶部，并向固定支撑基板上方凸出； 限位保持撑板，该限位保持撑板设有若干件，各限位保持撑板分别位于转接支托座块上方，其内部开设有限位孔眼，该限位孔眼设有若干件，各限位孔眼分别沿轴向贯穿限位保持撑板两端，并沿限位保持撑板的周向顺次排布； 滚动支垫球珠，该滚动支垫球珠设有若干件，各滚动支垫球珠分别置于限位孔眼内，其两端分别从限位保持撑板两侧露出，由限位保持撑板对滚动支垫球珠的位置进行保持，滚动支垫球珠底部置于转接支托座块顶部，可在转接支托座块上滚动； 枢转限位螺栓，该枢转限位螺栓的栓杆从中部贯穿转接支托座块底部后旋入活动装配载板中，其栓头向转接支托座块上方凸出，限位保持撑板中开设有枢转芯孔，栓头伸入枢转芯孔中，使限位保持撑板及滚动支垫球珠可在栓头上偏转； 活动配接垫块，该活动配接垫块设有若干件，各活动配接垫块分别与转接支托座块位置对应，其底部置于滚动支垫球珠顶部，可在滚动支垫球珠上移动； 活动装配载板，该活动装配载板位于活动配接垫块上方，其底部通过连接件与活动配接垫块接合，可随活动配接垫块一同移动； 音圈驱动组件，该音圈驱动组件安装于固定支撑基板与活动装配载板之间，由音圈驱动组件带动活动装配载板移动。

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