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龙图腾网获悉嘉兴微拓电子科技股份有限公司申请的专利一种具有尺寸切换结构的光刻机掩膜版夹紧定位机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223712005U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520187869.5，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种具有尺寸切换结构的光刻机掩膜版夹紧定位机构是由张超设计研发完成，并于2025-02-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种具有尺寸切换结构的光刻机掩膜版夹紧定位机构在说明书摘要公布了：本实用新型提出一种具有尺寸切换结构的光刻机掩膜版夹紧定位机构，其包括支撑装配组件、横向定位组件、纵向定位组件、夹紧驱动组件、双向定位组件及吸合定位组件，夹紧定位机构的横向定位组件和纵向定位组件可分别沿横向和纵向孔眼调节安装位置，夹紧驱动组件通过斜向槽口安装，并可以沿斜向移动，可以灵活地适应不同尺寸的掩膜版，提高了光刻机的通用性和适用性，夹紧驱动组件中的驱动气缸可以自动带动夹紧座板移动，实现掩膜版的快速夹紧和释放，提高光刻过程的自动化程度和效率，其采用可拆卸连接结构和可调节的安装位置，可适应不同型号和规格的掩膜版，提高设备的兼容性和灵活性。

本实用新型一种具有尺寸切换结构的光刻机掩膜版夹紧定位机构在权利要求书中公布了：1.一种具有尺寸切换结构的光刻机掩膜版夹紧定位机构，其特征在于，包括： 支撑装配组件，该支撑装配组件安装于光刻机机体中，其内部具有装配空间； 横向定位组件，该横向定位组件通过可拆卸连接结构安装于支撑装配组件中，可在支撑装配组件中沿横向调节安装位置，其形状与掩膜版的纵向边部形状适配，可对掩膜版的纵向边部进行定位； 纵向定位组件，该纵向定位组件通过可拆卸连接结构安装于支撑装配组件中，可在支撑装配组件中沿纵向调节安装位置，其形状与掩膜版的横向边部形状适配，可对掩膜版的横向边部进行定位； 夹紧驱动组件，该夹紧驱动组件通过活动连接结构安装于支撑装配组件中，并沿斜向布置，与横向定位组件及纵向定位组件位置对应，其可在支撑装配组件中沿斜向移动； 双向定位组件，该双向定位组件安装于夹紧驱动组件中，可随夹紧驱动组件一同移动，以改变横向定位组件及纵向定位组件与双向定位组件之间的距离，其形状与掩膜版的横向边部及纵向边部形状适配，可对掩膜版的横向边部及纵向边部进行双向定位并夹紧； 吸合定位组件，该吸合定位组件通过可拆卸连接结构安装于支撑装配组件中，并与横向定位组件、纵向定位组件及双向定位组件位置对应，由吸合定位组件对掩膜版进行吸合定位。

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