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龙图腾网获悉嘉兴微拓电子科技股份有限公司申请的专利一种用于光刻机晶圆定位的成像对准机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223712004U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520026327.X，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种用于光刻机晶圆定位的成像对准机构是由阮裕栋设计研发完成，并于2025-01-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于光刻机晶圆定位的成像对准机构在说明书摘要公布了：本实用新型提出一种用于光刻机晶圆定位的成像对准机构，其包括承载装配组件、图像进光组件、进出分光组件、光源进光组件、图像出光组件、变焦切换组件及感光成像组件，该对准机构采用光源镜头、折向镜组、分光棱镜及图像镜头向晶圆标记传输光源光线，对其进行照明，还通过图像镜头对晶圆标记的图像光线进行获取，通过分光棱镜、横向镜组及竖向镜组传输至变焦镜头中，并通过切换气缸带动变焦镜头偏转，使变焦镜头中的低倍镜头及高倍镜头对图像光线进行焦距切换，相应采用粗动平台结构及微动平台对晶圆进行调节，具有对准精度高、结构简单、可操作性强、效率高的优势，可以提升光刻生产过程中的良品率，降低生产成本。

本实用新型一种用于光刻机晶圆定位的成像对准机构在权利要求书中公布了：1.一种用于光刻机晶圆定位的成像对准机构，其特征在于，包括： 承载装配组件，该承载装配组件通过连接件安装于光刻机中，其内部具有装配空间； 图像进光组件，该图像进光组件安装于承载装配组件中，并与晶圆平台位置对应，可获取晶圆标记的图像光线； 进出分光组件，该进出分光组件安装于承载装配组件中，并与图像进光组件配合，由图像进光组件将其获取的图像光线传输至进出分光组件中，并由进出分光组件对其进行折射； 光源进光组件，该光源进光组件安装于承载装配组件中，其与进出分光组件配合，并与光源机构配合，由光源进光组件获取光源光线，并由进出分光组件对光源光线进行折射，使其进入图像进光组件，通过图像进光组件对晶圆标记进行照明； 图像出光组件，该图像出光组件安装于承载装配组件中并与进出分光组件配合，由图像出光组件对进出分光组件折射后的图像光线进行传递； 变焦切换组件，该变焦切换组件安装于承载装配组件中，并与图像出光组件配合，由图像出光组件将图像光线传递至变焦切换组件中，并由变焦切换组件对图像光线进行焦距切换； 感光成像组件，该感光成像组件安装于承载装配组件中，并与变焦切换组件配合，由感光成像组件对变焦切换组件切换后的图像光线进行感光成像。

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