合肥芯碁微电子装备股份有限公司张文龙获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥芯碁微电子装备股份有限公司申请的专利应用于光头底板的散热机构及其曝光机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223712003U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423314307.7，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型应用于光头底板的散热机构及其曝光机是由张文龙;梁旭设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本应用于光头底板的散热机构及其曝光机在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种应用于光头底板的散热机构及其曝光机，包括水冷机；显露于光头底板表面的接头组件，所述接头组件与所述水冷机连通；以及分布在光头底板内部的水道，所述光头底板表面安装有光头组，所述水道贯穿所述光头底板且能够覆盖所述光头组，以带走所述光头组聚集的热量。本实用新型通过设置水冷式散热机构对设置在光头底板的光头组进行均匀散热，大大降低光头底板因受热发生形变的风险，保证了曝光机关键参数的精确度。
本实用新型应用于光头底板的散热机构及其曝光机在权利要求书中公布了：1.应用于光头底板的散热机构，其特征在于，包括： 水冷机； 显露于光头底板00表面的接头组件，所述接头组件与所述水冷机连通；以及 分布在光头底板00内部的水道10，所述光头底板00表面安装有光头组01，所述水道10贯穿所述光头底板00且能够覆盖所述光头组01，以带走所述光头组01聚集的热量。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人合肥芯碁微电子装备股份有限公司，其通讯地址为：230088 安徽省合肥市高新区长宁大道789号1号楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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