嘉兴微拓电子科技股份有限公司张超获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉嘉兴微拓电子科技股份有限公司申请的专利一种具有扫描促动结构的光刻机镜头自动调焦机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223712002U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423287599.X，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种具有扫描促动结构的光刻机镜头自动调焦机构是由张超设计研发完成，并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有扫描促动结构的光刻机镜头自动调焦机构在说明书摘要公布了：本实用新型提出一种具有扫描促动结构的光刻机镜头自动调焦机构，其包括承载装配组件、扫描导向组件、路径扫描组件、扫描微调组件、弹性转接组件、导光聚焦组件及调焦驱动组件，该调焦机构设置了可调节的扫描探头对掩膜版进行扫描，获取掩膜版的形状数据，以形成调焦路径图，扫描探头的位置调节过程采用螺旋量具进行操作，使得其获取的数据更为精准，导光镜头的调焦过程采用压电陶瓷制作的驱动柱体进行调节，调节过程根据扫描探头行程的路径图进行操作，调节精度显著提升，有利于提高掩膜版的制造效率和精度。
本实用新型一种具有扫描促动结构的光刻机镜头自动调焦机构在权利要求书中公布了：1.一种具有扫描促动结构的光刻机镜头自动调焦机构，其特征在于，包括： 承载装配组件，该承载装配组件通过连接件安装于光刻机机体中，其内部具有装配空间； 扫描导向组件，该扫描导向组件安装于承载装配组件上； 路径扫描组件，该路径扫描组件通过活动连接结构安装于扫描导向组件上，可在扫描导向组件上运动，其与掩膜版配合，可对掩膜版进行扫描，以获取运动路径； 扫描微调组件，该扫描微调组件安装于扫描导向组件上，并与路径扫描组件配合，由扫描微调组件对路径扫描组件的位置进行微调； 弹性转接组件，该弹性转接组件安装于承载装配组件上，其内部具有转接空间； 导光聚焦组件，该导光聚焦组件安装于弹性转接组件上，可在弹性转接组件上调节位置，由导光聚焦组件对光线进行导向及聚焦； 调焦驱动组件，该调焦驱动组件安装于承载装配组件上，其与导光聚焦组件接合，并与路径扫描组件配合，由调焦驱动组件带动导光聚焦组件进行调焦。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人嘉兴微拓电子科技股份有限公司，其通讯地址为：314100 浙江省嘉兴市嘉善县罗星街道归谷二路18号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励