上海集成电路研发中心有限公司赵应晗获国家专利权
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龙图腾网获悉上海集成电路研发中心有限公司申请的专利涂胶单元及光刻胶输送系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223712001U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520349900.0，技术领域涉及：G03F7/16；该实用新型涂胶单元及光刻胶输送系统是由赵应晗;蔡航设计研发完成，并于2025-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本涂胶单元及光刻胶输送系统在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种涂胶单元及光刻胶输送系统，涂胶单元包括喷胶管路、循环管路和开闭结构，喷胶管路的轴向两端分别是进胶端和喷胶端，循环管路的两端连通于喷胶管路不同的轴向位置，开闭结构设置在喷胶端，喷胶管路的管压用于驱使开闭结构打开或封闭喷胶端。如此，不需要对晶圆进行涂胶时，开闭结构的设置将喷胶管路内的光刻胶和空气进行隔绝，避免光刻胶结晶的产生。开闭结构对喷胶端的开闭通过喷胶管路内的管压来控制，具有一定的自动性，提升装置的工作效率。在进行涂胶时，一部分光刻胶通过喷嘴端喷出，另一部分光刻胶可以通过循环管路在喷胶管路上回流，避免了光刻胶静止所带来胶体本身的交联进而产生光刻胶结晶，并且可节省光刻胶用量。
本实用新型涂胶单元及光刻胶输送系统在权利要求书中公布了：1.一种涂胶单元，其特征在于，包括： 喷胶管路，所述喷胶管路的轴向两端分别是进胶端和喷胶端； 循环管路，所述循环管路的两端连通于所述喷胶管路不同的轴向位置； 开闭结构，所述开闭结构设置在所述喷胶端，所述喷胶管路的管压用于驱使所述开闭结构打开或封闭所述喷胶端。
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