上海沧硕电子有限公司张妍获国家专利权
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龙图腾网获悉上海沧硕电子有限公司申请的专利一种在线式光罩盒光罩固定结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223712000U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520202979.4，技术领域涉及：G03F1/66；该实用新型一种在线式光罩盒光罩固定结构是由张妍设计研发完成，并于2025-02-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种在线式光罩盒光罩固定结构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体生产设备技术领域，尤其涉及一种在线式光罩盒光罩固定结构，包括盒体、光罩本体、门体、拉杆、两个固定框、固定部件和辅助部件，门体与盒体转动连接，并位于盒体的一侧，拉杆与门体固定连接，并位于门体的外侧，两个固定框分别与光罩本体拆卸连接，并位于光罩本体的下方，固定部件设置于盒体的内部，辅助部件设置于盒体的内部，通过握持拉杆打开门体将光罩本体放入盒体的内部，在辅助部件的辅助下对光罩本体进行初步纵向上的固定，再控制固定部件带动两个固定框移动对光罩本体的横向进行固定，以此可以增加光罩本体在盒体内部固定的稳定性。
本实用新型一种在线式光罩盒光罩固定结构在权利要求书中公布了：1.一种在线式光罩盒光罩固定结构，包括盒体和光罩本体，所述光罩本体设置于所述盒体的内部，其特征在于， 还包括固定组件； 所述固定组件包括门体、拉杆、两个固定框、固定部件和辅助部件，所述门体与所述盒体转动连接，并位于所述盒体的一侧，所述拉杆与所述门体固定连接，并位于所述门体的外侧，两个所述固定框分别与所述光罩本体拆卸连接，并位于所述光罩本体的下方，所述固定部件设置于所述盒体的内部，所述辅助部件设置于所述盒体的内部。
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