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合肥综合性国家科学中心能源研究院(安徽省能源实验室)孟献才获国家专利权

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龙图腾网获悉合肥综合性国家科学中心能源研究院(安徽省能源实验室)申请的专利一种ECR离子源正压运行测试平台获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223711089U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520197003.2,技术领域涉及:G01M99/00;该实用新型一种ECR离子源正压运行测试平台是由孟献才;李晨暄;李旭;闫振;梁立振设计研发完成,并于2025-02-08向国家知识产权局提交的专利申请。

一种ECR离子源正压运行测试平台在说明书摘要公布了:本实用新型涉及ECR离子源应用技术领域,尤其涉及一种ECR离子源正压运行测试平台。其技术方案包括正压罐体,所述正压罐体的顶部安装有连通所述正压罐体内部的CF刀口法兰组;离子源,设置于所述正压罐体内,所述离子源的两侧分别安装有向所述离子源内部馈入功率的微波波导和用于读取所述离子源等离子腔室内部温度的热电偶法兰。本实用新型实现ECR离子源正压运行测试系统其具有结构稳定可靠、结果直观的特点,解决了离子源系统设备能正常工作的压力区间难以验证的问题,在保证正压状态下罐体密封的同时,可以成功与操作设备通讯,并由热电偶反馈温度验证系统是否正常工作。

本实用新型一种ECR离子源正压运行测试平台在权利要求书中公布了:1.一种ECR离子源正压运行测试平台,其特征在于,包括: 正压罐体4,所述正压罐体4的顶部安装有连通所述正压罐体4内部的CF刀口法兰组; 离子源7,设置于所述正压罐体4内,所述离子源7的两侧分别安装有向所述离子源7内部馈入功率的微波波导5和用于读取所述离子源7等离子腔室内部温度的热电偶法兰8; 高度可调的支撑组件6,安装于所述正压罐体4的底部内壁用于支撑所述离子源7; 所述正压罐体4的一侧安装有离子源抽真空法兰9,所述离子源抽真空法兰9的一端延伸至所述正压罐体4内并与所述离子源7连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人合肥综合性国家科学中心能源研究院(安徽省能源实验室),其通讯地址为:230031 安徽省合肥市庐阳区三国城路80号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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