湖南红太阳光电科技有限公司范子彦获国家专利权
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龙图腾网获悉湖南红太阳光电科技有限公司申请的专利一种PECVD炉体柜获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223710247U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423134680.4,技术领域涉及:F27B17/00;该实用新型一种PECVD炉体柜是由范子彦;李明;周佑丞;肖洁;梁浩;田安设计研发完成,并于2024-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种PECVD炉体柜在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种PECVD炉体柜,包括炉体柜骨架、设于炉体柜骨架上的炉体组件、维护通道、气路板组件和电气控制组件,所述炉体组件位于维护通道的一侧,所述气路板组件和电气控制组件位于维护通道的另一侧,所述炉体组件的炉口处设有炉门组件,所述炉门组件外侧设有废气室,所述维护通道延伸至炉门组件。本实用新型具有预留了维护通道,缩短了气路板组件的连接管道的长度,便于维护的优点。
本实用新型一种PECVD炉体柜在权利要求书中公布了:1.一种PECVD炉体柜,其特征在于:包括炉体柜骨架1、设于炉体柜骨架1上的炉体组件2、维护通道3、气路板组件4和电气控制组件5,所述炉体组件2位于维护通道3的一侧,所述气路板组件4和电气控制组件5位于维护通道3的另一侧,所述炉体组件2的炉口处设有炉门组件6,所述炉门组件6外侧设有废气室7,所述维护通道3延伸至炉门组件6。
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