浙江创芯集成电路有限公司王斌超获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利晶圆干燥装置及机械研磨设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223710156U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422945951.8，技术领域涉及：F26B15/12；该实用新型晶圆干燥装置及机械研磨设备是由王斌超;夏汇哲;臧志城;孙永康;张俊铠设计研发完成，并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆干燥装置及机械研磨设备在说明书摘要公布了：本实用新型实施例提供一种晶圆干燥装置及机械研磨设备，其中，晶圆干燥装置包括：容置晶圆的干燥腔室；设置于所述干燥腔室的内壁上，供干燥气体通过的供应通道，所述供应通道具有通孔，所述干燥气体用于对晶圆进行干燥处理；设置于所述干燥腔室内的轨道；设置于所述干燥腔室内，与所述轨道滑动配合，带动所述晶圆朝向所述供应通道运动的推动结构，其中，所述推动结构包括与所述轨道卡接的连接件，以及与所述连接件连接的推动杆，所述推动杆的顶部具有卡位部，所述卡位部与所述晶圆接触。采用上述技术方案，能够提高晶圆干燥处理过程中的升降的稳定性。
本实用新型晶圆干燥装置及机械研磨设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆干燥装置，其特征在于，包括： 容置晶圆的干燥腔室； 设置于所述干燥腔室的内壁上，供干燥气体通过的供应通道，所述供应通道具有通孔，所述干燥气体用于对晶圆进行干燥处理； 设置于所述干燥腔室内的轨道； 设置于所述干燥腔室内，与所述轨道滑动配合，带动所述晶圆朝向所述供应通道运动的推动结构，其中，所述推动结构包括与所述轨道卡接的连接件，以及与所述连接件连接的推动杆，所述推动杆的顶部具有卡位部，所述卡位部与所述晶圆接触。
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