江苏宏力智能装备有限公司纪明星获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏宏力智能装备有限公司申请的专利一种半导体晶圆化学镍电镀烘干装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223710129U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423242727.9，技术领域涉及：F26B11/18；该实用新型一种半导体晶圆化学镍电镀烘干装置是由纪明星;孙玉明;孙永鑫设计研发完成，并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体晶圆化学镍电镀烘干装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种半导体晶圆化学镍电镀烘干装置，涉及芯片加工处理技术领域，包括烘干箱体，所述烘干箱体的内顶壁固定连接有加热板，所述烘干箱体的底部开设有烘干口，所述烘干箱体的底部设置有圆底座，所述圆底座的顶端转动连接有转盘，本实用新型通过转盘的间歇转动将电镀设备生产的潮湿晶圆不断运送向烘干箱体的下方，利用烘干箱体内设的加热板提供烘干热量，利用两侧设置的通风扇提供烘干气流，形成自上而下的热风吹向湿润晶圆，保证烘干箱体烘干晶圆的速率与电镀设备加工晶圆的速率一致，就能持续将湿润晶圆加热烘干，以便于后续晶圆的加工和储存。
本实用新型一种半导体晶圆化学镍电镀烘干装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体晶圆化学镍电镀烘干装置，包括烘干箱体1，所述烘干箱体1的内顶壁固定连接有加热板13，所述烘干箱体1的底部开设有烘干口12，其特征在于：所述烘干箱体1的底部设置有圆底座4，所述圆底座4的顶端转动连接有转盘2，所述转盘2的上表面沿圆周边等间距安装有晶圆载板3，所述烘干箱体1位于转盘2的一侧，电镀设备安装在转盘2的另一侧，所述转盘2的底端设置有伺服电机9，所述伺服电机9的顶端转动连接有驱动轮11，所述转盘2的底端中心位置处固定连接有间歇轮10，所述伺服电机9通过驱动轮11带动间歇轮10进行间歇转动。
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