上海新昇半导体科技有限公司林志鑫获国家专利权
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龙图腾网获悉上海新昇半导体科技有限公司申请的专利外延设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223705818U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423025987.0，技术领域涉及：C30B25/14；该实用新型外延设备是由林志鑫;张斌;俞登永设计研发完成，并于2024-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本外延设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体技术领域，提供了一种外延设备，包括外壳总成和承载座；所述外壳总成具有反应腔；所述承载座设置于所述反应腔内；沿垂直于所述承载座的承载面的方向，所述承载座将所述反应腔分隔形成第一腔室和第二腔室；所述外壳总成上设置有第一进气通道和第二进气通道，所述第一进气通道与所述第一腔室连通，所述第二进气通道与所述第二腔室连通。本实用新型通过设置第一进气通道和第二进气通道可分别向第一腔室和第二腔室通气，以改善清洗刻蚀效果不佳的现象。
本实用新型外延设备在权利要求书中公布了：1.一种外延设备，其特征在于，包括：外壳总成和承载座； 所述外壳总成具有反应腔； 所述承载座设置于所述反应腔内； 所述承载座上具有承载面，沿垂直于所述承载面的方向，所述承载座将所述反应腔分隔形成第一腔室和第二腔室； 所述外壳总成上设置有第一进气通道和第二进气通道，所述第一进气通道与所述第一腔室连通，所述第二进气通道与所述第二腔室连通。
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