上海积塔半导体有限公司夏欢获国家专利权
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龙图腾网获悉上海积塔半导体有限公司申请的专利一种外延炉体获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223705817U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520184006.2，技术领域涉及：C30B25/02；该实用新型一种外延炉体是由夏欢;严翔;蒋文军;闫晓晖设计研发完成，并于2025-02-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种外延炉体在说明书摘要公布了：本实用新型提供了外延炉体，包括：一外延炉本体，两个密封法兰，分别连接于外延炉本体的两端，每个密封法兰与外延炉本体连接的内侧各自设有第一密封圈和环绕第一密封圈的第二密封圈，第一密封圈和第二密封圈之间形成环形真空区域；一真空抽气装置，通过管路联通环形真空区域，抽取环形真空区域的空气形成真空。本实用新型能够有效提升腔体的密封性，降低了腔体泄漏发生的潜在隐患。
本实用新型一种外延炉体在权利要求书中公布了：1.一种外延炉体，其特征在于，包括： 一外延炉本体10； 两个密封法兰，分别连接于所述外延炉本体10的两端，每个所述密封法兰与所述外延炉本体10连接的内侧各自设有第一密封圈31和环绕所述第一密封圈31的第二密封圈32，所述第一密封圈31和第二密封圈32之间形成环形真空区域33；以及 一真空抽气装置6，通过管路联通所述环形真空区域33，抽取所述环形真空区域33的空气形成真空。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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