君原电子科技(海宁)有限公司李君获国家专利权
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龙图腾网获悉君原电子科技(海宁)有限公司申请的专利一种自动调节温度的静电吸盘加热器装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223705737U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520177413.0，技术领域涉及：C23C16/46；该实用新型一种自动调节温度的静电吸盘加热器装置是由李君;戴毅;石锗元;肖伟设计研发完成，并于2025-02-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种自动调节温度的静电吸盘加热器装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种自动调节温度的静电吸盘加热器装置，属于静电吸盘加热器技术领域，包括陶瓷本体和陶瓷支撑部，陶瓷本体中设有吸附电极，吸附电极与电极导线电连接，陶瓷本体还设有加热器，加热器设置在吸附电极的下方，加热器与测温传感器接触，测温传感器与控制器电连接，陶瓷本体的底部设有凹槽，凹槽中安装有加热模块，加热模块与加热器之间通过若干电极连通，加热模块通过加热导线与控制器电连接。本申请的技术方案通过设置若干个电极，通过对加热模块进行加热，然后将热量通过多个电极将热量传递到加热器上，即可以将加热模块上的热量传递到了陶瓷本体中的多个区域，即能够提升整个加热器装置的各个区域温度的均匀性。
本实用新型一种自动调节温度的静电吸盘加热器装置在权利要求书中公布了：1.一种自动调节温度的静电吸盘加热器装置，其特征在于，包括陶瓷本体1以及与所述陶瓷本体1连接的陶瓷支撑部2，所述陶瓷本体1中设有吸附电极11，所述吸附电极11与电极导线15电连接，所述陶瓷本体1还设有加热器12，所述加热器12设置在所述吸附电极11的下方，所述加热器12与测温传感器16接触，所述测温传感器16与控制器电连接，所述陶瓷本体1的底部设有凹槽，所述凹槽中安装有加热模块14，所述加热模块14与所述加热器12之间通过若干电极13连通，所述加热模块14通过加热导线22与所述控制器电连接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人君原电子科技(海宁)有限公司，其通讯地址为：314400 浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区谷水路306号天通泛半导体产业园2幢；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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