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龙图腾网获悉蓝河科技(绍兴)有限公司申请的专利一种基座及气相沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223705736U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520200049.5，技术领域涉及：C23C16/458；该实用新型一种基座及气相沉积设备是由童中华;卞祖健;魏晓骏;郑翔;张伟设计研发完成，并于2025-02-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基座及气相沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种基座及气相沉积设备。基座包括载体和转接件。载体设有若干凹穴以放置衬底，内部设有与各凹穴连通的连通气道；载体中部设有连接件，各连通气道延伸至连接件内并贯穿连接件的底端面与外部相通；转接件具有沿转接件轴向相对的第一端面和第二端面，转接件可拆卸设于连接件；转接件设有与各连通气道连通的中转气道，第二端面设有若干半通槽，至少部分半通槽与中转气道连通；各连通气道在连接件的底端面的开口与各中转气道在第二端面的开口相对接连通，或者与各半通槽的开口相对接连通，在需要对不同规格载体更换情况下，不会涉及对安装在设备腔体上的轴体等其他结构拆装，能够快速简易进行拆装，提高机台使用效率。

本实用新型一种基座及气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种基座，其特征在于，用于气相沉积设备，所述基座包括： 载体100，设有若干凹穴111以放置衬底，所述载体100内部设有与各所述凹穴111连通的若干连通气道130，以向对应各所述凹穴111传输驱动气体； 所述载体100中部设有连接件120，各所述连通气道130延伸至所述连接件120内并贯穿所述连接件120的底端面与外部相通； 转接件200，具有沿所述转接件200轴向相对的第一端面210和第二端面220，所述转接件200可拆卸设于所述连接件120使得所述第二端面220与所述连接件120的底端面紧密贴合； 所述转接件200设有与各所述连通气道130连通的中转气道230，所述中转气道230沿所述转接件200轴向贯穿所述转接件200，所述第二端面220设有若干半通槽240，至少部分所述半通槽240与所述中转气道230连通； 各所述连通气道在所述连接件120的底端面的开口与各所述中转气道230在所述第二端面220的开口相对接连通，或者与各所述半通槽240的开口相对接连通。

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