湖南红太阳光电科技有限公司肖洁获国家专利权
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龙图腾网获悉湖南红太阳光电科技有限公司申请的专利一种堆叠式舟载具及管式PECVD设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223705734U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422900170.7，技术领域涉及：C23C16/458；该实用新型一种堆叠式舟载具及管式PECVD设备是由肖洁;黄盛娟;周佑丞;谭瞻;张春成;成秋云设计研发完成，并于2024-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种堆叠式舟载具及管式PECVD设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种堆叠式舟载具及管式PECVD设备，包括：绝缘连接座、第一舟载具和第二舟载具；所述绝缘连接座分别设置在第一舟载具和第二舟载具的两端，以用于实现第一舟载具和第二舟载具沿竖直方向堆叠连接；所述第一舟载具和第二舟载具均采用碳纤维材料制备得到。本实用新型具有结构紧凑、重量轻且有利于提高镀膜均匀性等特点，弥补了现有堆叠式石墨舟存在的重量大、吸热较多、气流场均匀性低等缺陷。
本实用新型一种堆叠式舟载具及管式PECVD设备在权利要求书中公布了：1.一种堆叠式舟载具，其特征在于，包括：绝缘连接座2、第一舟载具11和第二舟载具12；所述绝缘连接座2分别设置在第一舟载具11和第二舟载具12的两端，以用于实现第一舟载具11和第二舟载具12沿竖直方向堆叠连接；所述第一舟载具11和第二舟载具12均采用碳纤维材料制备得到； 所述第一舟载具11底部设有第一舟脚111，所述第一舟脚111搭接在绝缘连接座2上部，绝缘连接座2下部与第二舟载具12顶部连接，以实现第一舟载具11堆叠在第二舟载具12上；绝缘连接座2下部与第一舟载具11底部之间存在间隙，以实现气流穿过绝缘连接座2，并由第一舟载具11和第二舟载具12的两端进入第一舟载具11和第二舟载具12的中间位置。
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