深圳市昇维旭技术有限公司李亦柱获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市昇维旭技术有限公司申请的专利反应腔的盖体组件及晶圆处理装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223705732U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520200660.8，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型反应腔的盖体组件及晶圆处理装置是由李亦柱;郑昌远;杨国栋;付仲晟;吴浩设计研发完成，并于2025-02-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本反应腔的盖体组件及晶圆处理装置在说明书摘要公布了：本申请公开一种反应腔的盖体组件及晶圆处理装置，该盖体组件包括：用于密封地盖设于开口处的盖体，在盖体盖设于开口处时，反应腔可被配置为真空状态；盖体中贯穿设置有与反应腔连通的进气孔，进气孔用于使空气进入处于真空状态的反应腔；以及，与进气孔连通的气流调节组件，气流调节组件用于调节通过进气孔进入反应腔的空气的进气速率。防止在破大气过程中气流速率过大导致损坏反应腔内的部件，同时也降低破大气的操作难度。
本实用新型反应腔的盖体组件及晶圆处理装置在权利要求书中公布了：1.一种反应腔的盖体组件，其特征在于，所述反应腔用于容纳晶圆且具有开口，所述盖体组件包括： 用于密封地盖设于所述开口处的盖体，在所述盖体盖设于所述开口处时，所述反应腔可被配置为真空状态；所述盖体中贯穿设置有与所述反应腔连通的进气孔，所述进气孔用于使空气进入处于真空状态的所述反应腔；以及， 与所述进气孔连通的气流调节组件，所述气流调节组件用于调节通过所述进气孔进入所述反应腔的空气的进气速率。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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