英汉思(苏州)技术有限公司周海滨获国家专利权
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龙图腾网获悉英汉思(苏州)技术有限公司申请的专利一种化学气相沉积反应腔的尾气降温装置及系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223705730U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520165980.4，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型一种化学气相沉积反应腔的尾气降温装置及系统是由周海滨设计研发完成，并于2025-01-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种化学气相沉积反应腔的尾气降温装置及系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种化学气相沉积反应腔的尾气降温装置及系统，装置包括：冷却物体输入管道、与尾气输入口数量相同的输入尾气降温管道、第一连通管道以及至少一个第二连通管道；冷却物体输入管道套设在尾气管道位于尾气输出口一端的外部，输入尾气降温管道套设在尾气管道位于尾气输出口一端的外部；第一连通管道连通冷却物体输入管道和一个输入尾气降温管道，第二连通管道连通相邻两个输入尾气降温管道。本实用新型实施例通过设置第一连通管道连通冷却物体输入管道和一个输入尾气降温管道，设置第二连通管道连通相邻两个输入尾气降温管道，从而能够实现用单通道输入的冷却物体对多路尾气降温。
本实用新型一种化学气相沉积反应腔的尾气降温装置及系统在权利要求书中公布了：1.一种化学气相沉积反应腔的尾气降温装置，其特征在于，用于对所述化学气相沉积反应腔的尾气管路中的尾气降温； 所述尾气管路包括：至少两个尾气输入口、至少一个尾气输出口以及连通所述尾气输入口和所述尾气输出口的尾气管道； 所述尾气管道包括用于汇聚相邻两个所述尾气输入口输入的尾气的至少一个尾气交汇处； 所述化学气相沉积反应腔的尾气降温装置包括：冷却物体输入管道、与所述尾气输入口数量相同的输入尾气降温管道、第一连通管道以及至少一个第二连通管道； 所述冷却物体输入管道套设在所述尾气管道位于所述尾气输出口一端的外部，所述输入尾气降温管道套设在所述尾气管道位于所述尾气输出口一端的外部； 所述第一连通管道连通所述冷却物体输入管道和一个所述输入尾气降温管道，所述第二连通管道连通相邻两个所述输入尾气降温管道。
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