英汉思(苏州)技术有限公司周海滨获国家专利权
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龙图腾网获悉英汉思(苏州)技术有限公司申请的专利一种化学气象沉积反应腔的盖板及化学气象沉积反应装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223705729U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520162519.3，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型一种化学气象沉积反应腔的盖板及化学气象沉积反应装置是由周海滨设计研发完成，并于2025-01-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种化学气象沉积反应腔的盖板及化学气象沉积反应装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种化学气象沉积反应腔的盖板及化学气象沉积反应装置，盖板包括：盖板本体以及位于盖板本体内的冷却结构；冷却结构包括冷却物输入孔、冷却物输出孔以及至少两个冷却通道；冷却物输入孔和冷却物输出孔均位于盖板远离化学气象沉积反应腔一侧的第一表面上，冷却通道连通冷却物输入孔和冷却物输出孔；冷却通道的形状为阿基米德螺旋线，且冷却通道交替均匀设置在盖板本体内，使得冷却结构的形状中心对称。由于本实用新型在盖板本体内交替均匀设置形状为阿基米德螺旋线的冷却通道，使得冷却结构的形状中心对称，从而能够使通入冷却通道的冷却物均匀分布在盖板上，能够高效均匀的对腔室散热。
本实用新型一种化学气象沉积反应腔的盖板及化学气象沉积反应装置在权利要求书中公布了：1.一种化学气象沉积反应腔的盖板，其特征在于，包括：盖板本体以及位于所述盖板本体内的冷却结构； 所述冷却结构包括冷却物输入孔、冷却物输出孔以及至少两个冷却通道； 所述冷却物输入孔和所述冷却物输出孔均位于所述盖板远离所述化学气象沉积反应腔一侧的第一表面上，所述冷却通道连通所述冷却物输入孔和所述冷却物输出孔； 所述冷却通道的形状为阿基米德螺旋线，且所述冷却通道交替均匀设置在所述盖板本体内，使得所述冷却结构的形状中心对称。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人英汉思(苏州)技术有限公司，其通讯地址为：215002 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城中北区30幢1706室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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