眉山博雅新材料股份有限公司王宇获国家专利权
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龙图腾网获悉眉山博雅新材料股份有限公司申请的专利一种气相沉积装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223705728U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423219271.4，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型一种气相沉积装置是由王宇;范小力;顾鹏设计研发完成，并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种气相沉积装置在说明书摘要公布了：本说明书实施例提供一种气相沉积装置，应用于工件的表面沉积工艺，该装置包括：仿形流场结构，仿形流场结构围合出沉积腔，沉积腔包括入口流道和出口流道；控温组件，设置于仿形流场结构外侧，被配置为控制沉积腔内的温度；第一输运组件，与入口流道连接，被配置为通过入口流道向沉积腔内输送原料；流量控制组件，与第一输运组件连接，被配置为调控第一输运组件输送至沉积腔的气体流量；控压组件，被配置为调控沉积腔内的气压；仿形流场结构的至少部分内壁的形状与工件的待沉积表面的形状匹配，且当工件安装于沉积腔内时，待沉积表面与至少部分内壁之间形成沉积流道，沉积流道的一端与入口流道连通，另一端与出口流道连通。
本实用新型一种气相沉积装置在权利要求书中公布了：1.一种气相沉积装置，应用于工件的表面沉积工艺，其特征在于，所述装置包括： 仿形流场结构，所述仿形流场结构围合出沉积腔，所述沉积腔包括入口流道和出口流道； 控温组件，设置于所述仿形流场结构外侧，被配置为控制所述沉积腔内的温度； 第一输运组件，与所述入口流道连接，被配置为通过所述入口流道向所述沉积腔内输送原料； 流量控制组件，与所述第一输运组件连接，被配置为调控所述第一输运组件输送至所述沉积腔的气体流量； 控压组件，被配置为调控所述沉积腔内的气压； 所述仿形流场结构的至少部分内壁的形状与工件的待沉积表面的形状匹配，且当所述工件安装于所述沉积腔内时，所述待沉积表面与所述至少部分内壁之间形成沉积流道，所述沉积流道的一端与所述入口流道连通，另一端与所述出口流道连通。
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