眉山博雅新材料股份有限公司王宇获国家专利权
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龙图腾网获悉眉山博雅新材料股份有限公司申请的专利一种气相沉积装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223705727U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423218806.6,技术领域涉及:C23C16/44;该实用新型一种气相沉积装置是由王宇;吴万鹏;顾鹏设计研发完成,并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种气相沉积装置在说明书摘要公布了:本说明书实施例提供一种气相沉积装置,包括:沉积主体,沉积主体包括第一腔体、第二腔体以及第一侧壁;第一腔体设于第二腔体内,第一腔体被构造为容纳待沉积物体;第一侧壁围成第一腔体,第一侧壁上设有多个通孔,多个通孔连通第一腔体和第二腔体;第一输入管,第一输入管与第一腔体连通;第二输入管,第二输入管与第二腔体连通;输出管,输出管与第一腔体连通。
本实用新型一种气相沉积装置在权利要求书中公布了:1.一种气相沉积装置,其特征在于,包括: 沉积主体,所述沉积主体包括第一腔体、第二腔体以及第一侧壁;所述第一腔体设于所述第二腔体内,所述第一腔体被构造为容纳待沉积物体;所述第一侧壁围成所述第一腔体,所述第一侧壁上设有多个通孔,多个所述通孔连通所述第一腔体和所述第二腔体; 第一输入管,所述第一输入管与所述第一腔体连通; 第二输入管,所述第二输入管与所述第二腔体连通; 输出管,所述输出管与所述第一腔体连通。
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