扬州德沪智能装备有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉扬州德沪智能装备有限公司申请的专利一种布气装置及镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223705715U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520219022.0，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种布气装置及镀膜设备是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-02-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种布气装置及镀膜设备在说明书摘要公布了：本实用新型属于磁控溅射技术领域，公开了一种布气装置及镀膜设备。本实用新型提出一种布气装置及镀膜设备，其中，布气装置包括气排组件，气排组件包括至少两个气排段，气排段上设置有多个出气孔，气体从出气孔输出并朝向靶材，采用分段式布气能够避免气体集中在某一区域，提高气体输出后分布的均匀性；气排组件上设置有调节组件，调节组件包括可移动地设置在气排段上的挡板，每个挡板均能够选择性地遮挡出气孔以调节每个出气孔的输出面积的大小，进而调节每个出气孔的气体输出量，进而控制镀膜厚度，实现对布气的精准控制。
本实用新型一种布气装置及镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种布气装置，其特征在于，包括： 气排组件1，所述气排组件1包括至少两个沿靶材10的长度方向依次设置的气排段11，每个所述气排段11上均设置有多个出气孔111，多个所述出气孔111均朝向靶材10设置，气体能够从所述出气孔111输出； 调节组件2，所述调节组件2设置在所述气排组件1上，所述调节组件2包括多个挡板21，多个所述挡板21与多个所述出气孔111一一对应设置，且多个所述挡板21均可移动地设置在所述气排段11上，所述挡板21能够选择性地遮挡所述出气孔111以调节每个所述出气孔111的输出面积的大小。
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