湖南麓星光电科技有限公司姜海获国家专利权
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龙图腾网获悉湖南麓星光电科技有限公司申请的专利一种离子溅射镀膜机膜层厚度可调节装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223705709U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520110469.4,技术领域涉及:C23C14/34;该实用新型一种离子溅射镀膜机膜层厚度可调节装置是由姜海;范鹏;唐玄;颜姣设计研发完成,并于2025-01-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种离子溅射镀膜机膜层厚度可调节装置在说明书摘要公布了:本实用新型属于离子溅射镀膜机技术领域,且公开了一种离子溅射镀膜机膜层厚度可调节装置,包括真空镀膜室,所述真空镀膜室的内部安装有镀膜平台,所述真空镀膜室的内部安装有离子束溅射复合镀膜机构本体,所述真空镀膜室的内部安装有厚度调节组件,所述厚度调节组件包括连接板,所述离子束溅射复合镀膜机构本体的表面安装有连接板,所述连接板的底面安装有安装板,两个所述安装板之间转动连接有活动杆,所述活动杆的表面安装有异形挡板,所述异形挡板与所述离子束溅射复合镀膜机构本体的溅射口相贴合,本实用新型具有能够对镀膜厚度进行调节处理,避免人工进行观察,进一步提高实用性的优点。
本实用新型一种离子溅射镀膜机膜层厚度可调节装置在权利要求书中公布了:1.一种离子溅射镀膜机膜层厚度可调节装置,包括真空镀膜室1,其特征在于:所述真空镀膜室1的内部安装有镀膜平台12,所述真空镀膜室1的内部安装有离子束溅射复合镀膜机构本体13,所述真空镀膜室1的内部安装有厚度调节组件2; 所述厚度调节组件2包括连接板21,所述离子束溅射复合镀膜机构本体13的表面安装有连接板21,所述连接板21的底面安装有安装板22,两个所述安装板22之间转动连接有活动杆23,所述活动杆23的表面安装有异形挡板24,所述异形挡板24与所述离子束溅射复合镀膜机构本体13的溅射口相贴合; 所述真空镀膜室1表面开设的通孔内转动连接有连杆25,所述连杆25的一端贯穿所述真空镀膜室1,并与所述活动杆23的一端相连接,所述真空镀膜室1的表面安装有固定板26,所述固定板26的一侧表面安装有驱动电机27,所述固定板26的表面安装有定时机构28,所述定时机构28与所述驱动电机27之间电性连接,所述真空镀膜室1的表面安装有驱动组件3。
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