睿励科学仪器(上海)有限公司毛宗钦获国家专利权
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龙图腾网获悉睿励科学仪器(上海)有限公司申请的专利一种掩膜版运动平台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223705699U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421844973.9，技术领域涉及：C23C14/04；该实用新型一种掩膜版运动平台是由毛宗钦;熊金磊设计研发完成，并于2024-07-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种掩膜版运动平台在说明书摘要公布了：本申请提供一种掩膜版运动平台，包括自上至下依次设置的承载架、第一运动机构、第一底板、第二运动机构和第二底板；承载架用于承载掩膜版，承载架背离掩膜版的表面与第一运动机构的第一驱动器连接，第一运动机构的第一导轨沿第一方向设置于第一底板的上表面；第一底板的下表面与第二运动机构的第二驱动器连接，第二运动机构的第二导轨沿第二方向设置于第二底板的上表面，第二底板的下表面与固定平台连接。该掩膜版运动平台具有足够的行程能够适应不同尺寸的掩膜版，使得承载掩膜版的承载架沿第一方向和第二方向精确移动，并在整个运动过程中保持稳定性和均匀性，实现高精度定位。
本实用新型一种掩膜版运动平台在权利要求书中公布了：1.一种掩膜版运动平台，其特征在于，包括： 承载架，所述承载架用于承载掩膜版； 第一运动机构，所述第一运动机构包括第一导轨和第一驱动器，所述第一驱动器与所述承载架背离所述掩膜版的表面连接，且所述第一驱动器驱动所述承载架沿所述第一导轨往复运动； 第一底板，所述第一导轨沿第一方向设置于所述第一底板的表面上； 第二运动机构，所述第二运动机构包括第二导轨和第二驱动器，所述第二驱动器与所述第一底板背离所述第一导轨的表面连接，且所述第二驱动器驱动所述第一底板沿所述第二导轨往复运动； 第二底板，所述第二导轨沿第二方向设置于所述第二底板的表面上，所述第二底板背离所述第二导轨的表面与固定平台连接； 其中，所述第一方向与所述第二方向垂直。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人睿励科学仪器(上海)有限公司，其通讯地址为：200120 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区华佗路68号6幢；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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