北京燕东微电子科技有限公司施玉隆获国家专利权
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龙图腾网获悉北京燕东微电子科技有限公司申请的专利化学机械抛光装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223700463U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520104791.6，技术领域涉及：B24B37/10；该实用新型化学机械抛光装置是由施玉隆;阮洪涛;陶佳旺;张元章;张雷;周松设计研发完成，并于2025-01-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本化学机械抛光装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种化学机械抛光装置。该化学机械抛光装置包括：支撑台，用于承载待抛光的晶圆；多个定位爪，位于支撑台的外侧，定位爪具有朝向晶圆的推送面；定位爪能够沿支撑台的径向方向移动，使推送面通过与晶圆侧面相接触，推动晶圆移动至支撑台的预定位置；驱动单元，与定位爪相连，驱动定位爪移动；其中，定位爪上还设有喷管，喷管的出气口朝向支撑台，喷管能够向晶圆吹送气体以使晶圆从搭接于定位爪的位置移动至支撑台上。该化学机械抛光装置具有应对晶圆搭接于定位爪上这一异常情况的处理能力，可节省时间成本和人工成本，降低报警频率，提升设备自动化运转能力。
本实用新型化学机械抛光装置在权利要求书中公布了：1.一种化学机械抛光装置，其特征在于，包括： 支撑台，用于承载待抛光的晶圆； 多个定位爪，位于所述支撑台的外侧，所述定位爪具有朝向所述晶圆的推送面；所述定位爪能够沿所述支撑台的径向方向移动，使所述推送面通过与晶圆侧面相接触，推动所述晶圆移动至所述支撑台的预定位置； 驱动单元，与所述定位爪相连，驱动所述定位爪移动； 其中，所述定位爪还设有喷管，所述喷管的出气口朝向所述支撑台，所述喷管能够向所述晶圆吹送气体以使所述晶圆从搭接于定位爪的位置移动至所述支撑台上。
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