浙江创芯集成电路有限公司吴泽彬获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利晶圆研磨装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223700462U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423059039.9，技术领域涉及：B24B37/10；该实用新型晶圆研磨装置是由吴泽彬;李彤映;李光照;方浩设计研发完成，并于2024-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆研磨装置在说明书摘要公布了：本公开实施例提供了一种晶圆研磨装置，其中，晶圆研磨装置包括：研磨盘；研磨垫，位于所述研磨盘的第一端面，用于研磨晶圆；限位件，设置于所述研磨盘，且所述限位件的第一端的高度高于所述研磨盘的第一端面的高度，所述研磨垫的外边沿与所述限位件的第一位置抵触；其中，所述限位件的第一位置与所述研磨盘的中心轴的间距为第一间距，所述第一间距大于所述研磨盘的半径，且与所述研磨垫的半径一致。采用上述技术方案，能够提升晶圆的平坦化效果。
本实用新型晶圆研磨装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆研磨装置，其特征在于，包括： 研磨盘； 研磨垫，位于所述研磨盘的第一端面，用于研磨晶圆； 限位件，设置于所述研磨盘，且所述限位件的第一端的高度高于所述研磨盘的第一端面的高度，所述研磨垫的外边沿与所述限位件的第一位置抵触； 其中，所述限位件的第一位置与所述研磨盘的中心轴的间距为第一间距，所述第一间距大于所述研磨盘的半径，且与所述研磨垫的半径一致。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江创芯集成电路有限公司，其通讯地址为：311200 浙江省杭州市萧山区宁围街道平澜路2118号浙江大学杭州国际科创中心水博园区11幢4层-5层(自主申报)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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