深圳市诺峰光电设备有限公司许立峰获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市诺峰光电设备有限公司申请的专利一种研磨系统及化学机械抛光设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223700458U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520122636.7，技术领域涉及：B24B37/00；该实用新型一种研磨系统及化学机械抛光设备是由许立峰;邬兴国;许辉;樊克鹏;秦建军设计研发完成，并于2025-01-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种研磨系统及化学机械抛光设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种研磨系统及化学机械抛光设备，具体地，研磨系统包括至少两条间隔设置的研磨线，研磨线用于对晶圆加工，间隔设置的研磨线之间形成维修通道，维修通道设置有装载机构，装载机构可于维修通道的延展方向上移动，基于上述设置，维修通道的一侧可形成出入口并与外界连通，当研磨系统需要维修或维护时，可将装载机构移动至维修通道远离出入口的一侧，维修人员即可由外部经出入口进入维修通道，实现对研磨系统中各个器件的维护，便于对设备内部的组件维护调试。
本实用新型一种研磨系统及化学机械抛光设备在权利要求书中公布了：1.一种研磨系统，包括至少两条研磨线10，所述研磨线10用于对晶圆加工，其特征在于，相邻所述研磨线10间隔设置，以形成维修通道20，所述维修通道20设置有装载机构11，所述装载机构11可于所述维修通道20的延展方向移动。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市诺峰光电设备有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市龙华区观澜街道大水田社区裕展五路16号101-102；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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