深圳市诺峰光电设备有限公司许立峰获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市诺峰光电设备有限公司申请的专利一种清洗系统及CMP研磨设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223700457U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520119751.9，技术领域涉及：B24B37/00；该实用新型一种清洗系统及CMP研磨设备是由许立峰;邬兴国;许辉;樊克鹏;秦建军设计研发完成，并于2025-01-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种清洗系统及CMP研磨设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种清洗系统及CMP研磨设备，具体公开了一种清洗系统，包括机械手以及至少两条清洗线，机械手用于将晶圆搬运至清洗线，清洗线用于实现对晶圆的清洗，相邻的清洗线间隔设置，以形成维修通道，维修通道至少包括一与外界连通的出入口，机械手设置在维修通道中，且可于维修通道的延展方向移动，可以理解，本实用新型将维修通道设置在清洗系统内部，且同时作为机械手的设置区域以及移动区域，通过上述设置，本实用新型的维修通道并未占用清洗系统的额外空间。即本实用新型通过合理布局，在保证设备整体体积不变的情况下，增设了一条供维修人员维修设备的维修通道，解决了现有设备维修难的技术问题。
本实用新型一种清洗系统及CMP研磨设备在权利要求书中公布了：1.一种清洗系统，包括机械手11以及至少两条清洗线12，所述机械手11用于将晶圆搬运至所述清洗线12，所述清洗线12用于实现对晶圆的清洗，其特征在于，相邻所述清洗线12间隔设置，以形成维修通道13，所述维修通道13至少包括一与外界连通的出入口1301，所述机械手11设置在所述维修通道13中，且可于所述维修通道13的延展方向移动。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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