江苏芯梦半导体设备有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏芯梦半导体设备有限公司申请的专利一种清洗单元及清洗设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223698809U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423107637.9,技术领域涉及:B08B9/28;该实用新型一种清洗单元及清洗设备是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2024-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种清洗单元及清洗设备在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种清洗单元及清洗设备,涉及半导体设备技术领域。清洗单元包括清洁桶、支撑件、喷淋件、加热件以及解锁组件。支撑件、喷淋件以及加热件均设置于清洁桶的腔体内,解锁组件用于解锁半导体基板存储容器的盒体和盒盖,以便于承载件用于承载盒体,喷淋件用于喷射清洗液体或气体;加热件位于支撑件的一侧,加热件用于进行对半导体存储容器的外壁进行热辐射加热。通过喷淋件向半导体基板存储容器喷射清洗液体,以彻底清洗半导体基板存储容器,并通过加热件对半导体基板存储容器进行热辐射加热,以使半导体基板存储容器迅速干燥,并通过喷淋件向半导体基板存储容器喷扫高压气体,进一步清洗半导体基板存储容器,有效提高了清洗效率。
本实用新型一种清洗单元及清洗设备在权利要求书中公布了:1.清洗单元,应用于清洗半导体基板存储容器,所述半导体基板存储容器包括盒体和盒盖,所述盒体和所述盒盖锁合在一起,其特征在于,所述清洗单元包括: 清洁桶,所述清洁桶包括腔体和盖体;支撑件,所述支撑件设置于所述腔体内,所述支撑件用于承载盒体; 喷淋件,所述喷淋件设置于所述腔体内,所述喷淋件用于喷射清洗液体或气体; 加热件,所述加热件设置于所述腔体内且位于所述支撑件的一侧,所述加热件用于对所述盒体加热; 解锁组件,所述解锁组件设置于所述盖体,所述解锁组件用于将所述盒盖从所述盒体上解锁并固定所述盒盖。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人江苏芯梦半导体设备有限公司,其通讯地址为:215121 江苏省苏州市吴中区吴中经济开发区东吴南路25号城南科技产业园7幢(2号厂房)1、2层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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