上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司缪翔获国家专利权
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龙图腾网获悉上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司申请的专利基板清洗装置用的液体收集装置及基板清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223698648U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423188882.7，技术领域涉及：B08B3/02；该实用新型基板清洗装置用的液体收集装置及基板清洗装置是由缪翔;陆丛希设计研发完成，并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板清洗装置用的液体收集装置及基板清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了基板清洗装置用的液体收集装置及基板清洗装置，所述液体收集装置包括容器及置于容器内可承载基板用的旋转基座，所述容器的内腔由内向外被分隔成至少两个排液腔，每个排液腔的底部具有排液口，所述旋转基座位于最内的排液腔中且所有排液腔在所述旋转基座的上方设有开口，至少一个所述排液腔中设有腔壁清洗装置，所述腔壁清洗装置包括安装架以及置于安装架上的喷射装置，所述喷射装置的喷嘴朝向所述排液腔的腔壁设置，所述喷射装置与管路相连，所述管路用于与位于所述容器外的清洗液供给组件相连。本实用新型可消除腔壁上的副产物及结晶，保持腔壁干净，避免该些副产物及结晶伴随清洗工艺被转移到基板如晶圆上，造成基板良率损失。
本实用新型基板清洗装置用的液体收集装置及基板清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种基板清洗装置用的液体收集装置，所述液体收集装置包括容器以及置于容器内可承载基板用的旋转基座，所述容器的内腔由内向外被分隔成至少两个排液腔，每个排液腔的底部具有排液口，所述旋转基座位于最内的排液腔中且所有排液腔在所述旋转基座的上方设有开口，其特征在于，至少一个所述排液腔中设有腔壁清洗装置，所述腔壁清洗装置包括安装架以及置于安装架上的喷射装置，所述喷射装置的喷嘴朝向所述排液腔的腔壁设置，所述喷射装置与管路相连，所述管路用于与位于所述容器外的清洗液供给组件相连。
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