常州元晶摩尔微电子有限公司刘子仪获国家专利权
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龙图腾网获悉常州元晶摩尔微电子有限公司申请的专利一种MEMS超声换能器获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223698376U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423252866.X,技术领域涉及:B06B1/06;该实用新型一种MEMS超声换能器是由刘子仪;费跃;全雪;蔡金东;陈思奇;王焕焕;范文轩;葛斌;袁志峰;蔡宣成设计研发完成,并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种MEMS超声换能器在说明书摘要公布了:本实用新型实施例公开了一种MEMS超声换能器,包括:基底、振膜、底电极层、压电层和顶电极层;基底包括通孔和支撑区;振膜在基底的垂直投影覆盖通孔和部分支撑区;底电极层包括内圈和外圈底电极,压电层包括内圈和外圈压电层,各层依次层叠设置,底电极层和压电层的外圈部分环绕内圈部分,并覆盖基底的部分通孔和支撑区。顶电极层包括内圈和外圈顶电极,内圈顶电极和外圈顶电极之间具有间隙;外圈顶电极环绕内圈顶电极,内圈顶电极在压电层的垂直投影位于内圈压电层内,外圈顶电极在压电层的垂直投影位于外圈压电层内;外圈顶电极和内圈底电极电连接,外圈底电极和内圈顶电极电连接。可以降低工艺难度和生产成本,提高换能器的性能。
本实用新型一种MEMS超声换能器在权利要求书中公布了:1.一种MEMS超声换能器,其特征在于,包括: 基底,以及依次层叠设置于所述基底一侧的振膜、底电极层、压电层和顶电极层;所述振膜设置于所述底电极层邻近所述基底的一侧; 所述基底包括通孔以及环绕所述通孔的支撑区; 所述振膜在所述基底的垂直投影覆盖所述通孔以及至少部分所述支撑区; 所述底电极层包括内圈底电极和外圈底电极,所述内圈底电极和所述外圈底电极之间具有间隙,所述外圈底电极环绕所述内圈底电极;所述内圈底电极在所述基底的垂直投影位于所述通孔内,所述外圈底电极在所述基底的垂直投影覆盖部分所述通孔和至少部分所述支撑区; 所述压电层包括内圈压电层和外圈压电层,所述内圈压电层和所述外圈压电层之间具有间隙,所述外圈压电层环绕所述内圈压电层;所述内圈压电层在所述底电极层的垂直投影位于所述内圈底电极内,且所述外圈压电层在所述基底的垂直投影覆盖部分所述通孔和至少部分所述支撑区; 所述顶电极层包括内圈顶电极和外圈顶电极,所述内圈顶电极和所述外圈顶电极之间具有间隙;所述外圈顶电极环绕所述内圈顶电极,所述内圈顶电极在所述压电层的垂直投影位于所述内圈压电层内,所述外圈顶电极在所述压电层的垂直投影位于所述外圈压电层内; 所述外圈顶电极和所述内圈底电极电连接,所述外圈底电极和所述内圈顶电极电连接。
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