上海高笙集成电路设备有限公司崔汉博获国家专利权
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龙图腾网获悉上海高笙集成电路设备有限公司申请的专利一种半导体废气处理装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223697265U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423304198.0,技术领域涉及:B01D53/02;该实用新型一种半导体废气处理装置是由崔汉博;程勇设计研发完成,并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体废气处理装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种半导体废气处理装置,包括:吸附桶和螺旋板,所述螺旋板位于吸附桶内部并与吸附桶位置固定,所述吸附桶上下两端分别形成有出气口和进气口,所述螺旋板和吸附桶之间填充有吸附颗粒,所述吸附桶上下两端分别形成有进料口和出料口,所述进料口和出料口分别与用于封堵的封堵装置连接。本实用新型废气沿着螺旋板之间上升与吸附颗粒接触并被吸收,在有限的吸附筒空间内增加了整体吸附颗粒的长度,是的吸附废气更加充分;吸附颗粒受重力沿着螺旋板不断下滑,下部先与废气接触的已经完全饱和的吸附颗粒从出料口离开吸附筒,上部未饱和的吸附颗粒滑动到吸附桶下部保留,在以后使用中继续吸附废气,减少了吸附颗粒的使用,降低了成本。
本实用新型一种半导体废气处理装置在权利要求书中公布了:1.一种半导体废气处理装置,其特征在于,包括:吸附桶3和螺旋板6,所述螺旋板6位于吸附桶3内部并与吸附桶3位置固定,所述吸附桶3上下两端分别形成有出气口和进气口,所述螺旋板6和吸附桶3之间填充有吸附颗粒,所述吸附桶3上下两端分别形成有进料口和出料口,所述进料口和出料口分别与用于封堵的封堵装置连接。
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