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龙图腾网获悉江苏卓玉智能科技有限公司申请的专利一种基于图像识别的晶圆质量分析方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120894675B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511439166.8，技术领域涉及：G06V10/98；该发明授权一种基于图像识别的晶圆质量分析方法是由梅力;胡冬云;胡朗设计研发完成，并于2025-10-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于图像识别的晶圆质量分析方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于图像识别的晶圆质量分析方法，具体涉及半导体制造质量检测领域，包括通过多光谱与高分辨率融合相机组合模型，同步采集可见光、红外及紫外光谱下的晶圆二维图像，并利用结构光三维重建技术获取表面三维形貌数据，应用自适应噪声抑制算法，通过频域分析识别噪声特征并动态调整滤波参数，实现针对性降噪，构建多尺度特征金字塔与量子点标记识别融合模型，分层提取缺陷轮廓与材料异质区域，结合量子点荧光标记技术提取微观结构特征参数，将微观特征与三维形貌数据映射至多模态空间模型，生成晶圆三性参数，建立三维评估体系，综合判定质量等级并输出分析报告，显著提升晶圆质量检测的精度与效率。

本发明授权一种基于图像识别的晶圆质量分析方法在权利要求书中公布了：1.一种基于图像识别的晶圆质量分析方法，其特征在于，包括以下步骤： S1：通过多光谱与高分辨率融合相机的组合模型，构建多维度图像采集模型，采集可见光、红外及紫外光谱下的晶圆二维图像，同步启动结构光三维重建技术获取晶圆表面三维形貌数据，其中，结构光三维重建技术采用405nm激光投射正弦条纹，帧率为30fps，单帧三维点云密度≥100点mm²； S2：构建动态调整模型，对采集到的晶圆二维图像应用自适应噪声抑制算法，通过频域分析识别噪声特征后，基于识别结果动态调整滤波参数实现针对性降噪，其中，频域分析包括通过计算功率谱密度确定噪声主导频段，并量化噪声能量占比以判断干扰强度； S3：构建多尺度特征金字塔与量子点标记识别的融合模型，通过多尺度特征金字塔分层提取晶圆二维图像的缺陷轮廓与材料异质区域，同时采用CdSeZnS核壳结构量子点对晶圆表面的晶格缺陷、纳米级孔洞与间隙进行特异性荧光标记，量子点的粒径为5-8nm，激发波长为488nm，发射波长为655nm，结合荧光强度分析，提取包括晶格缺陷密度、微观应力分布参数、纳米级孔洞与间隙参数的晶圆微观结构特征参数； S4：构建多模态空间映射模型，将晶圆微观结构特征参数与表面三维形貌数据映射至关联映射函数模型，生成表征晶圆物理性能、电学性能以及工艺标准匹配度的晶圆三性参数； S5：构建质量评估模型，根据晶圆三性参数建立三维评估体系，判定质量等级，输出晶圆质量分析报告。

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