株式会社日立高新技术弓场龙获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社日立高新技术申请的专利测量系统、生成学习模型的方法以及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114270484B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980099234.7，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权测量系统、生成学习模型的方法以及存储介质是由弓场龙;酒井计;山口聪设计研发完成，并于2019-08-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本测量系统、生成学习模型的方法以及存储介质在说明书摘要公布了：本发明提供一种技术，在不参照需要技能的图像处理的参数调整或难以获得的情况的设计图的情况下就能够执行测量处理。本公开的测量系统参照基于根据半导体的样品图像生成的监督数据和样品图像而生成的学习模型，根据具有预定结构的半导体的输入图像测量目标生成区域分割图像，并使用区域分割图像执行图像测量。在此，监督数据是对图像的各像素分配了包含样品图像中的半导体的结构的标签而得的图像，学习模型包含用于根据样品图像推定监督数据的参数参照图1。
本发明授权测量系统、生成学习模型的方法以及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种测量系统，进行包含周期性结构的半导体的图像测量，其特征在于， 所述测量系统具备： 至少1个处理器，其执行与所述图像测量相关的各种处理；以及 输出装置，其输出所述图像测量的结果， 所述至少1个处理器执行如下处理： 根据半导体的样品图像生成监督数据的处理； 基于所述样品图像和所述监督数据生成学习模型的处理； 基于所述学习模型，根据与所述半导体相关的输入图像生成区域分割图像的处理； 测量处理，使用所述区域分割图像进行图像测量；以及 将所述测量处理的结果输出至所述输出装置的处理， 所述监督数据是将包含所述样品图像中的所述半导体的结构的标签分配给图像的各像素而得的图像， 所述学习模型包含用于根据所述样品图像或所述输入图像推定所述监督数据或所述区域分割图像的参数， 所述样品图像和所述监督数据包含比所述输入图像小的尺寸且与所述周期性结构对应的图像区域， 所述至少1个处理器在生成所述学习模型的处理中，根据所述样品图像和所述监督数据生成所述学习模型的所述参数。
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