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龙图腾网获悉大连交通大学申请的专利一种监测螺栓应力用ZnO压电薄膜传感器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114242884B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111484467.4，技术领域涉及：H10N30/30；该发明授权一种监测螺栓应力用ZnO压电薄膜传感器及其制备方法是由崔云先;莫国伟;高鹏飞;殷俊伟设计研发完成，并于2021-12-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种监测螺栓应力用ZnO压电薄膜传感器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种监测螺栓应力用ZnO压电薄膜传感器及其制备方法。本发明压电薄膜传感器，包括：螺栓基底，沉积在螺栓基底的头部上的绝缘层薄膜，沉积在绝缘层薄膜上的第一电极薄膜，沉积在第一电极薄膜上的压电薄膜，沉积在压电薄膜上的第二电极薄膜，沉积在第二电极薄膜上的保护层薄膜。本发明将压电薄膜材料通过磁控溅射技术集成到监测基底上，为了防止压电材料产生的电荷泄露，在基底上沉积绝缘薄膜，并且在传感器制备完成后，再在外表面沉积保护薄膜，延长传感器的使用寿命。本发明压电薄膜传感器具有耐高温、耐腐蚀、灵敏度高、动态响应快等优点，采用直流脉冲磁控溅射技术加工效率高，可应用于多种场合，解决实时螺栓应力监测的问题。

本发明授权一种监测螺栓应力用ZnO压电薄膜传感器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种监测螺栓应力用ZnO压电薄膜传感器的制作方法，其特征在于，包括如下步骤： S1、加工螺栓定位夹具7：将焊接完成后的螺栓定位夹具7放置在数控铣床上，加工定位孔和螺栓孔； S2、抛光处理：对螺栓基底1的螺栓头部进行打磨并抛光； S3、清洗处理：将抛光后的螺栓基底1置于超声波清洗机内进行清洗； S4、制备绝缘层薄膜2：将螺栓基底1安装在螺栓定位夹具7上，并一同放入真空多功能复合镀膜机的真空溅射室内，沉积绝缘层薄膜2，随炉冷却后取出样品； S5、制备第一电极薄膜3：将第一电极薄膜机械掩膜板8安装在螺栓定位夹具7上，采用螺母固定，放入真空多功能复合镀膜机的真空溅射室内，沉积第一电极薄膜3； S6、制备积压电薄膜4：将压电薄膜机械掩膜板9安装在螺栓定位夹具7上，采用螺母固定，放入真空多功能复合镀膜机的真空溅射室内，沉积压电薄膜4； S7、制备第二电极薄膜5：将第二电极薄膜机械掩膜板10安装在螺栓定位夹具7上，采用螺母固定，放入真空多功能复合镀膜机的真空溅射室内，沉积第二电极薄膜5； S8、检测电阻值：测量第一电极薄膜3和第二电极薄膜5之间电阻值是否满足要求，满足要求后制备保护层薄膜6； S9、制备保护层薄膜6：将制备好的绝缘层薄膜2、第一电极薄膜3、压电薄膜4和第二电极薄膜5放置在真空多功能复合镀膜机的真空溅射室内，沉积保护层薄膜6，随炉冷却后取出样品； 所述监测螺栓应力用ZnO压电薄膜传感器，包括：螺栓基底1，沉积在所述螺栓基底1的头部上的绝缘层薄膜2，沉积在所述绝缘层薄膜2上的第一电极薄膜3，沉积在所述第一电极薄膜3上的压电薄膜4，沉积在所述压电薄膜4上的第二电极薄膜5，沉积在所述第二电极薄膜5上的保护层薄膜6，所述绝缘层薄膜2和所述保护层薄膜6均采用SiO2薄膜，所述第一电极薄膜3和所述第二电极薄膜5均采用NiSi薄膜，所述压电薄膜4采用ZnO薄膜。

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