南方科技大学张一获国家专利权
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龙图腾网获悉南方科技大学申请的专利兰姆波谐振器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113904652B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111066444.1，技术领域涉及：H03H9/17；该发明授权兰姆波谐振器及其制备方法是由张一;汪青;于洪宇设计研发完成，并于2021-09-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本兰姆波谐振器及其制备方法在说明书摘要公布了：本申请提供了一种兰姆波谐振器及其制备方法，涉及声波谐振器技术领域。该兰姆波谐振器包括支撑衬底、支撑结构、压电薄膜和顶部电极。支撑衬底和压电薄膜间隔设置，支撑结构的一端设置于支撑衬底的表面，支撑结构的另一端设置于压电薄膜的第一表面，顶部电极设置于压电薄膜的背离支撑衬底的第二表面，顶部电极和支撑结构在压电薄膜的厚度方向上至少有部分重叠。该兰姆波谐振器，可以提高压电薄膜的机械稳定性，并且提高谐振器的散热特性及功率特性；由于兰姆波谐振器的主模态能量主要集中在电极之间部分，声波传递到电极区域多次反射将产生杂散模态，提供支撑结构有利于杂散声波能量泄露到支撑衬底，从而改善其杂散模态多的问题。
本发明授权兰姆波谐振器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种兰姆波谐振器，其特征在于，包括： 支撑衬底、支撑结构、压电薄膜和顶部电极；所述支撑衬底和所述压电薄膜间隔设置，所述支撑结构的一端设置于所述支撑衬底的表面，所述支撑结构的另一端设置于所述压电薄膜的第一表面，所述顶部电极设置于所述压电薄膜的背离所述支撑衬底的第二表面，所述顶部电极在所述压电薄膜上的投影和所述支撑结构在所述压电薄膜上的投影至少有部分重叠； 所述支撑结构包括多个支撑体，所述多个支撑体的一端间隔设置于所述支撑衬底的表面，所述多个支撑体的另一端间隔设置于所述压电薄膜的第一表面，所述支撑结构的材料为SiO2、SiC、SiN或金刚石；所述顶部电极包括多个子电极，所述多个子电极间隔设置于所述压电薄膜的所述第二表面；一个所述子电极与一个所述支撑体一一对应，且所述支撑体在所述压电薄膜上的投影和所述子电极在所述压电薄膜上的投影至少有部分重叠。
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