芯联集成电路制造股份有限公司钟志鸿获国家专利权
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龙图腾网获悉芯联集成电路制造股份有限公司申请的专利用于高边开关器件的测试结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223693129U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520253887.9,技术领域涉及:H01L23/544;该实用新型用于高边开关器件的测试结构是由钟志鸿;何云;徐承福设计研发完成,并于2025-02-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于高边开关器件的测试结构在说明书摘要公布了:一种用于高边开关器件的测试结构,高边开关器件包括衬底以及位于衬底上且间隔设置的屏蔽栅沟槽器件和双极互补金属氧化器件,其中,屏蔽栅沟槽器件的栅极和双极互补金属氧化器件的栅极通过栅极互连线彼此电连接;测试结构包括位于衬底上的第一测试焊盘和至少两个二极管串联连接的二极管串结构,其中,至少两个二极管的负极彼此相连,其中一个二极管的正极连接至栅极互连线,第一测试焊盘也连接至栅极互连线。本申请可以在双极互补金属氧化器件不受影响的情况下完成屏蔽栅沟槽器件耐压能力参数的测试及监控,降低测试失效比例,提高高边开关器件的产品质量。
本实用新型用于高边开关器件的测试结构在权利要求书中公布了:1.一种用于高边开关器件的测试结构,其特征在于,所述高边开关器件包括衬底以及位于所述衬底上且间隔设置的屏蔽栅沟槽器件和双极互补金属氧化器件,其中,所述屏蔽栅沟槽器件的栅极和双极互补金属氧化器件的栅极通过栅极互连线彼此电连接; 所述测试结构包括位于所述衬底上的第一测试焊盘和至少两个二极管串联连接的二极管串结构,其中,所述至少两个二极管的负极彼此相连,其中一个二极管的正极连接至所述栅极互连线,所述第一测试焊盘也连接至所述栅极互连线。
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