矽电半导体设备(深圳)股份有限公司林生财获国家专利权
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龙图腾网获悉矽电半导体设备(深圳)股份有限公司申请的专利载片装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223693114U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520241229.8，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型载片装置是由林生财设计研发完成，并于2025-02-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本载片装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种载片装置，载片装置用于承载芯片。载片装置包括基体、活动组件、检测组件、清洁组件以及导气组件。基体具有用于承载芯片的承载部。活动组件活动连接基体，活动组件配置为能够朝向承载部运动。检测组件连接活动组件，检测组件适于检测承载部的清洁度。清洁组件连接活动组件，清洁组件包括清洁部，清洁部适于抵接承载部，以清理承载部上的附着物。导气组件连接活动组件，导气组件包括导气部，导气部适于产生可流通至承载部的气流，以带离承载部上的附着物。本方案能够有效提升清洁效率，保障清洁效果。
本实用新型载片装置在权利要求书中公布了：1.载片装置，用于承载芯片，其特征在于，所述载片装置包括： 基体，具有用于承载所述芯片的承载部； 活动组件，活动连接所述基体，所述活动组件配置为能够朝向所述承载部运动； 检测组件，连接所述活动组件，所述检测组件适于检测所述承载部的清洁度； 清洁组件，连接所述活动组件，所述清洁组件包括清洁部，所述清洁部适于抵接所述承载部，以清理所述承载部上的附着物； 导气组件，连接所述活动组件，所述导气组件包括导气部，所述导气部适于产生可流通至所述承载部的气流，以带离所述承载部上的所述附着物。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人矽电半导体设备(深圳)股份有限公司，其通讯地址为：518172 广东省深圳市龙岗区龙城街道黄阁坑社区龙城工业园3号厂房三楼东区、五楼中西区；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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