上海裕诗实业有限公司褚书明获国家专利权
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龙图腾网获悉上海裕诗实业有限公司申请的专利一种固定晶圆的卡具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223693111U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423163455.3，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种固定晶圆的卡具是由褚书明;沈陈军;徐康;彭代全设计研发完成，并于2024-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种固定晶圆的卡具在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种固定晶圆的卡具，所述卡具包括卡座和卡头，所述卡座与卡头连接，所述卡头包括三部分：带有坡度的上端头，具有圆弧形卡槽的中间部，带有下滑坡度的下端部。本实用新型提供的固定晶圆的卡具，一方面提高晶圆在操作过程中的受力稳定性，另一方面增大了表面摩擦力；且卡具采用PFA碳纤维材质，设计为具有合理坡度的外沿，防止清洗过程中液体飞溅带来的清洗不彻底等问题；能够一次性固定两片晶圆，能够提高晶圆清洗效率或满足生产中的特殊技术需要，使得晶圆在操作过程中能够达到受力均衡，高摩擦力，高效清洗的有益效果。
本实用新型一种固定晶圆的卡具在权利要求书中公布了：1.一种固定晶圆的卡具，其特征在于，包括：卡座和卡头，所述卡座与卡头连接，所述卡头包括三部分：带有坡度的上端头，具有圆弧形卡槽的中间部，带有下滑坡度的下端部。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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