深圳市思坦科技有限公司邱成峰获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市思坦科技有限公司申请的专利一种真空平台及贴合装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223693108U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520214499.X,技术领域涉及:H01L21/683;该实用新型一种真空平台及贴合装置是由邱成峰;许小龙设计研发完成,并于2025-02-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空平台及贴合装置在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种真空平台及贴合装置,涉及半导体加工领域。真空平台包括平台本体;平台本体具有吸附面,吸附面包括多个吸附区域,平台本体上设置有吸附孔和真空输入槽,吸附孔显露于吸附面,同一吸附区域内的各个吸附孔通过真空输入槽连通。上述真空平台在使用时无需在吸附面上放满产品,且不易出现漏真空的情况,能够提高产品的可靠性和稳定性,有利于提高加工良率。同时方便单片作业情况,操作更加简便,能够节约人工成本,减少产品摆放遗漏率,减少物料损耗,还可以有效地节能。
本实用新型一种真空平台及贴合装置在权利要求书中公布了:1.一种真空平台,其特征在于,包括平台本体; 所述平台本体具有吸附面,所述吸附面包括多个吸附区域,所述平台本体上设置有吸附孔和真空输入槽,所述吸附孔显露于所述吸附面,同一所述吸附区域内的各个所述吸附孔通过所述真空输入槽连通。
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