盛合晶微半导体(江阴)有限公司陈犇获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉盛合晶微半导体(江阴)有限公司申请的专利一种晶圆支架获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223693101U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423314002.6，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型一种晶圆支架是由陈犇设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆支架在说明书摘要公布了：本申请提供一种晶圆支架，包括基台、旋转台、升降台和限位器。其中，基台设置有沿竖直方向的通孔。旋转台包括旋转基座以及固定设置于旋转基座上表面的多个旋转固定器，旋转固定器围绕旋转基座的旋转轴沿圆周均匀分布。升降台包括承载盘和支撑杆，支撑杆的上端与承载盘的下表面中心固定连接。支撑杆可在通孔中升降。限位器凸出设置于通孔的内壁上，用于限制支撑杆在水平方向发生位移。本申请的技术方案能够通过通孔内壁上设置的限位器来有效限制支撑杆在水平方向的运动，确保支撑杆能够平稳地升降，从而有效地解决晶圆发生斜搭的问题，提升工艺流程效率并降低晶圆发生损坏的概率。
本实用新型一种晶圆支架在权利要求书中公布了：1.一种晶圆支架，其特征在于，包括： 基台1，设置有沿竖直方向的通孔101； 旋转台2，包括旋转基座201以及固定设置于所述旋转基座201上表面的多个旋转固定器202，所述旋转固定器202围绕所述旋转基座201的旋转轴沿圆周均匀分布； 升降台3，包括承载盘301和支撑杆302，所述支撑杆302的上端与所述承载盘301的下表面中心固定连接；所述支撑杆302可在所述通孔101中升降； 限位器4，凸出设置于所述通孔101的内壁上，用于限制所述支撑杆302在水平方向发生位移。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人盛合晶微半导体(江阴)有限公司，其通讯地址为：214437 江苏省无锡市江阴市东盛西路9号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励