南京原磊纳米材料有限公司郑锦获国家专利权
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龙图腾网获悉南京原磊纳米材料有限公司申请的专利一种晶圆反应腔的运动机构和晶圆反应设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223693096U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423321714.0，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型一种晶圆反应腔的运动机构和晶圆反应设备是由郑锦;王丛云;李立松设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆反应腔的运动机构和晶圆反应设备在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体生成设备领域，提供一种晶圆反应腔的运动机构和晶圆反应设备，运动机构包括至少两个提升装置和浮动连接装置；浮动连接装置包括第一连接体和第二连接体，第一连接体包括浮动套筒，且浮动套筒连接提升装置的运动末端；第二连接体设置在浮动套筒内，且第二连接体连接晶圆反应腔的腔体，第二连接体与浮动套筒之间浮动连接。在本申请实施例中，当两侧提升装置的运动末端运动不完全同步时，由于腔体的重力，以及，第一连接体与第二连接体之间浮动连接的共同作用，可以使处于腔体两侧的第二连接体的末端水平高度相同，这样，在至少两个提升装置同步运动时，本申请实施例提供的浮动连接装置可以改善腔体的水平度。
本实用新型一种晶圆反应腔的运动机构和晶圆反应设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆反应腔的运动机构，包括至少两个提升装置1，其特征在于，还包括：浮动连接装置2； 所述浮动连接装置2包括第一连接体21和第二连接体22，所述第一连接体21包括浮动套筒211，且所述浮动套筒211连接所述提升装置1的运动末端； 所述第二连接体22设置在所述浮动套筒211内，且所述第二连接体22连接晶圆反应腔的腔体100，所述第二连接体22与所述浮动套筒211之间浮动连接，以在至少两个所述提升装置1同步运动时，改善所述腔体100的水平度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人南京原磊纳米材料有限公司，其通讯地址为：210000 江苏省南京市江北新区浦云路266号青云大厦B栋22层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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